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LDHT 新闻报道     和我们一起,共同推进中国“芯”制造!

                            和我们一起,共同推进中国“芯”制造!

还记得前阵子闹得沸沸扬扬的某“芯片门”么?这件事从侧面体现出了中国芯片自给率的严重不足,百分之十几的芯片自给率,离“中国制造2025”提出的到2020年实现40%自给率、到2025年实现70%自给率目标尚远。
虽然最近美国政府已经“妥协”,但我们还是不禁反思:国内的高端芯片制造,究竟该何去何从?

 

晶圆,是制造芯片的基本材料,在制造过程中,需要对晶圆进行精密的热加工,以确保最终芯片成型的品质。

晶圆热加工的工作原理,是通过加热器对晶圆均匀加热,使晶圆上的涂胶加热烘干。

 

但由于多点加热的速度和均匀性无法兼顾,加热不均可能会使最终产品上出现斑痕,造成加工品质影响。

温度均一控制技术

欧姆龙为此推出了【温度均一控制技术】可轻松解决加热不均的课题,实现每个点升温速度的统一,确保晶圆加工的高品质。迈向高端芯片制造,确保品质是第一步!

欧姆龙提出“Integrated”*1,致力于为制造业革新创出提供核心技术力,为客户创造更简单更灵活的制造现场,实现高速・高精度生产,赋予生产更多智能,助力实现高端芯片的制造!

升温均衡

根据目标值响应将温差控制为原有的1/5,保证每一点的温度均衡。

抑制温差波动

根据干扰响应将温差控制为原有的1/5,将温差消失时间控制为原有的一半以内。

 

调试时间缩短

只需简单设定,即可实现整个空间或表面分布同一指定温度。

欧姆龙“i-Automation!”理念。

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